超聲波掃描顯微鏡

超聲波掃描顯微鏡（KSI SAT）

-KSI V300E功能特點-    

•  掃描范圍適中：300mm*300mm

•  掃描速度快：2米/秒（加速度30米/平方秒）

•  重復精度高：+/-0.1微米

•  低噪防誤判探頭：有效去除水花產生的誤判

•  X/Y/Z軸驅動系統(tǒng)：直線磁懸浮超高速電機

•  掃描模式：支持點掃描（A-）縱部掃描（B-）橫部掃描（C-）多層橫剖掃描（X-）等

•  主控軟件：Ksi Vision

•  配置選用：檢件臺定制、透射模組、三維圖像分析軟件、濾波器等可選

中型單探頭超聲波顯微鏡KSI V300E系列（300mm*300mm，+/-0.1um，2m/s）是一款大小合適多用途超掃檢測機，其工作原理是利用超聲波通過耦合介質（通常是水）傳輸到樣品中。同時聲學顯微鏡的評估單元根據超聲波信號的振幅、相位和經過時間進行分析，并從這些信息中創(chuàng)建圖像，從而發(fā)現元器件材料中的斷層、空洞、裂痕、分層等一系列影響產品性能的潛在缺陷。

KSI V300E的超聲波對其移動介質的變化和不均勻性反應非常敏感，單探頭的設計可以有效去除水波干擾，主動防震動系統(tǒng)能夠確保機器不受外界干擾，從而保證檢測結果的準確性。由此可見它非常適用于失效分析實驗，對制程中的材料質量、工藝控制以及芯片抽檢來說，是bi bu ke shao的一環(huán)。

-Dophin適用產品-

•  大功率IGBT模塊

•  電子元器件

•  塑封集成電路

•  電容銅基器件

•  sic鑄錠和襯底

IGBT超掃檢測機——Dophin系列是在常規(guī)C-SAM基礎上升級的全自動檢測系統(tǒng)。可以自主完成送料、檢測、標識、分類、出料的一整套標準流程，包括DCB板、IGBT器件的空洞、氣泡、裂縫、分層等缺陷都能輕松檢出，可快速鎖定半導體器件失效原因，從而提高產品的質量和可靠性。

日揚科技是一家真空領域整合服務的供應商，幫助客戶解決真空難題。我們不僅提供真空閥門、腔體、配件的OEM/ODM服務，還提供粉塵尾氣處理（Htc Scrubber）、納米涂層材料（WEH®）、超聲波掃描顯微鏡（KSI SAT）以及推拉力檢測儀（XYZTEC）等產品。致力于做客戶真空系統(tǒng)解決方案的全面服務商。