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APC鐘擺閥

簡要描述:APC鐘擺閥標準閘閥表面處理:鍍鎳、硬陽Htc真空3位置鐘擺閥通過可調控制氣缸實現真空隔離和真空壓力控制。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2025-07-30
  • 訪  問  量:2775
  • 產品資料:

詳細介紹

品牌其他品牌產地進口
加工定制

APC鐘擺閥的應用

高科技制程后段壓力控制和隔離閥

應用產業

>> SEMI - 半導體

>> FPD - 光電面板

>> CVD - 化學氣相沉積

>> Solar - 太陽能

APC鐘擺閥特點

集成整合壓力控制

精確的壓力控制

密實的隔離

反應時間快

友善簡易操作使用接口


APC鐘擺閥規格

真空計電壓 : 24V DC or ±15V DC

備用電源 : Yes

真空計輸入

- 真空計數量:2 pcs

- 真空計數值: 線性 / 指數 t

- 真空計輸出電壓:0-10V DC 線性壓力

- 輸入電阻:Ri=21 k Ω

- 分辨率:2.3 mV

- 采樣時間:1ms

控制精度:真空計大量程的 0.1%

仿真\通訊簡易控制

位置分辨率:8000 (step 0-75° rotation)

環境溫度: 70°C max(控制器可持續 -24HR)


APC 軟件功能

使用APC軟件可提供便利操作功能通過計算機控制

設置控制參數的調整: GAIN

壓力和位置控制模式

附表測試模式=> 1 cycle schedule

設置閥打開/關閉速度

記錄APC 硬件/軟件版本, 序列號和型號

記錄閥門循環和運行時間

設置公差范圍的壓力

循環壽命和壓力控制記錄

控制器參數上傳和下載

斷電保護功能

屏幕截圖

APC鐘擺閥

控制和執行單元

輸入電壓

+24 VDC(±10%)

連接器: POWER

功率消耗

150W(controller + motor)

連接器: POWER

真空計電源輸出

+24 VDC /+-15VDC, 500 mA

連接器: SENSOR

模擬輸入

真空計數量

獨立兩頻道

連接器: SENSOR

輸入電壓

0-10V DC linear

連接器: SENSOR

分辨率

2.3 mV

連接器: SENSOR

輸入電阻

Ri=21kΩ

連接器: SENSOR

模擬輸出

真空計數量

獨立兩頻道

連接器: INTERFACE

輸出電壓

0-10V DC linear

連接器: INTERFACE

數字輸出/入

輸入

獨立兩頻道

連接器: INTERFACE

輸出

獨立兩頻道

連接器: INTERFACE

可接受工作溫度

閥門本體

120 ℃

控制器

70 ℃

控壓精度

0.1% of maximum sensor range

位置分辨率

8000 (step 0-90?rotation)

備用電源

Yes

ISO 200

關閉時間

<1.2sec

開啟時間

<1.2sec

閥門大扭拒

270kg-cm

ISO 250

關閉時間

<1.2sec

開啟時間

<1.2sec

閥門大扭拒

880kg-cm

ISO 320

關閉時間

<3.0sec

開啟時間

<3.0sec

閥門大扭拒

880kg-cm


規格數據



材質

本體

A6061-T6



閥板

A6061-T6



使用壽命

關閉/開啟壽命

200,000 cycles



壓力控制壽命

1,000,000 cycles



氦氣泄漏率(一大氣壓壓差)

本體
鋁合金

<1×10-9 mbar .l /sec



本體
鋁合金 ,超硬陽極處理

<1×10-5 mbar .l /sec



烘烤溫度

本體

≤ 120 ℃



驅動器

≤ 70 ℃



控制盒

≤ 70 ℃



壓力范圍

鋁合金

1×10-8 mbar to 1.2 bar



鋁合金 ,超硬陽極處理

1×10-6 mbar to 1.2 bar



大壓差

1.2 bar



開啟前壓差

≤ 5 mbar



壓縮空氣壓力

4 ~ 6 Kg/cm2



開/關時間(秒)

ISO 200

ISO 250

ISO 320



1.2/1.2

1.2/1.2

2.0/2.0



密封圈材質

閥板

Viton O-ring



閥蓋

Viton O-ring



重量

ISO 200

ISO 250

ISO 320



22Kg

31Kg

51Kg



驅動器

步進馬達



安裝位置

水平 / 垂直

水平

選配

A. 其他密封圈材質
B. 加熱器








































































































































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