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影響PECVD工藝質量的因素主要有以下幾個方面：3.2.1極板間距和反應室尺寸PECVD腔體極板間距的選擇要考慮兩個因素：（1）起輝電壓：間距的選擇應使起輝電壓盡量低，以降低等離子電位，減少對襯底的損傷。（2）極板間距和腔體氣壓：極板間距較大時，對襯底的損傷較小，但間距不宜過大，否則會加重電場的邊緣效應，影響淀積的均勻性。反應腔體的尺寸可以增加生產率，但是也會對厚度的均勻性產生影響。3.2.2射頻電源的工作頻率射頻PECVD通常采用50kHz~13.56MHz頻段射頻電源，頻...

滲透型表面處理涂料滲透型的表面處理涂料基本原理是采用滲透性強的樹脂為基，配合極性溶劑、滲透劑使得涂料具備良好的性能，并增強涂層的附著力。穩定型表面處理涂料穩定型的表面處理涂料基本原理主要是靠涂料中活性原料與銹層中活潑的成分起反應，使用比較多的活性原料有氧化鋅、磷酸鋅、鉻酸鋅、鉻酸鋇、有機氮堿鉻酸鹽，鉻酸鈣、三聚磷酸鋁、有的配方還添加亞硝酸鈉，也有認為加入鉻酸鍶是必要的。轉化型表面處理涂料轉化型表面處理涂料也叫反應型帶銹涂料，這類涂料不含成膜物質，也因為這樣所以還需要另外加底漆...

壓力測量中，除極少數直接測量外，絕大多數是間接測量。就是先在被測氣體中引起一定的物理現象，然后再測量這一過程中與壓力有關的物理量，進而設法確定壓力值。這是真空測量的特點，亦會造成某些問題。1、真空計(Vacuumgauge)是測量低于一個大氣壓力的氣體或蒸氣壓力的儀器。2、真空計是從真空計本身測得的物理量直接計算出(或得出)壓力的儀器。3、相對真空計則是必須經過真空計的校準之后才能進行真空度的測量。任何具體物理現象與壓力的關系，都是在某一壓力范圍內才較顯著，超出這個范圍，關系...

減頂真空機組的組成和各部分作用簡介減頂壓縮機組的工作液是水，抽吸介質為：空氣、水汽、瓦斯氣等。機組由液環真空泵、電機、換熱器、氣體過濾器、氣液分離器、氣體和液體管路、羅茨泵以及各類就地及遠傳儀表組成。1、磁翻板液位計：配套有防爆液位變送器，可現場觀察氣液分離器內的液位，液位變送器可根據氣液分離器內液位高低對應4~20mA電流到DCS系統，實時監控氣水分離器的液位。2、氣液分離器：液環真空泵排出的氣、液在此分離，氣體從排氣口排出，液體留在氣液分離器內，通過泵供液管路繼續循環使用...

氦質譜檢漏小可檢漏率達5×10-12Pa·m3/s，氦質譜檢漏的使用，使板翅式換熱器的檢漏由定性考察變成了定量分析，對板翅式換熱器的選用具有指導意義。氦質譜檢漏常用的操作方法板式換熱器的體積及換熱面積較大，如果單依靠氦質譜檢漏儀抽取真空，其不能滿足檢漏口真空度的要求，這樣需要另接抽真空機組。板翅式換熱器的氦質譜檢漏一般采用噴吹法和鐘罩法，如檢查內漏還可以采用吸入法進行檢漏。1、噴吹法該方法是將被檢件接在檢漏儀的檢漏口，用儀器的真空系統對其抽真空并達到真空銜接與質譜管溝通，然后...

1.1、立式真空泵滑閥泵的結構型式有立式和臥式二種。立式結構在新設計的泵中已鮮有使用，但它也有一定的自身特點：泵在運轉中向前(后)的沖擊力比較小，絕大部分沖擊力在上、下的方向上，運轉中泵產生的前、后晃動很小。利用這一特點，只要配置合適的減振器或減振墊，就可有效減振和隔振。我們曾對H-8A滑閥泵進行振動測試，振動測試的數據也充分說明了這一點。結合上述情況，設想將電機和油氣分離器分別設置在泵的前、后側，設計成背包式，降低泵的重心，并在泵的底腳加減振墊，也許可能成為立式滑閥泵今后的...

皮拉尼真空計的測量特點(1)測量壓力范圍寬，105～lO-14Pa。(2)大部分真空計是間接測量，只有壓力為105～lOPa時，可直接測單位面積所受的力。但大多數真空測量的壓力遠比上述為小，不能直接測量，應利用低壓下氣體的某些特性(如熱傳導、粘滯性和電離等)進行間接測量。(3)多采用非電量電測技術。(4)大部分真空計的讀數與氣體種類和成分有關。所以測量時要特別注意被測量氣體種類和成分．否則會造成很大誤差。(5)測量精度不高。選擇真空計原則(1)在要求的壓力區域內有要求的精度。...

1、經常檢查油位位置，不符合規定時須調整使之符合要求。以真空泵運轉時，油位到油標中心為準。2、經常檢查油質情況，發現油變質應及時更換新油，確保真空泵工作正常。3、換油期限按實際使用條件和能否滿足性能要求等情況考慮，由用戶酌情決定。一般新真空泵，抽除清潔干燥的氣體時，建議在工作100小時左右換真空泵油一次。待油中看不到黑色金屬粉末后，以后可適當延長換油期限。4、一般情況下，真空泵工作2000小時后應進行檢修，檢查橡膠密封件老化程度，檢查排氣閥片是否開裂，清理沉淀在閥片及排氣閥座...

1、雙級式真空泵是用以抽除特定密封容器內的氣體，使該容器獲得一定真空的基本設備，由于現代科學技術的高度發展，雙級式真空泵的應用遍及各個科學領域和各種企業事業單位，可以廣泛用于冰箱、空調機、燈泡、日光燈、瓶膽生產和電子、冶金、醫藥、化工、濾油機、印刷機械、包裝機等工業，可作為擴散泵、羅茨泵、分子泵等的前級泵，供電子儀器、醫療儀器等配套和實驗研究應用。由于直聯泵沒有皮帶摩擦的粉塵的污染，體積小、重量輕、材料節約、功能日趨完善，更被廣泛推廣應用。2、由于雙級式真空泵是用黑色金屬制造...

對于真空多層絕熱閥，隨著使用時間的延長，夾層內真空度會慢慢降低。夾層的氣體并不是一類氣體分子，而是多種氣體的混合物，夾層氣體的主要來源是內、外不銹鋼管的放氣，纏繞層、內外管支撐及其它固體雜質的放氣。金屬的放氣是夾層氣體的主要來源，金屬放氣主要成分是氫。實驗對實際真空閥門殘留氣體取樣分析，夾層中氣體組成的含量依次為氫、氮、氧、氬、水蒸氣、二氧化碳和氦氣，其中，氫的含量高，可達到95%。在液氫溫度下，除氫和極少量的氦外，氮、氧、氬、水蒸氣、二氧化碳等其它所有氣體均被冷凝成固體，同...

托里拆利制作的一端封閉充滿水銀的細長玻璃管就是初的真空計。根據測量的真空度范圍和使用環境，現在常使用的真空計有電容式隔膜真空計、熱電偶真空計、熱陰極電離真空計和冷陰極電離真空計。這幾種真空計利用了不同的物理現象，其中電容式隔膜真空計利用的是力，熱電偶真空計利用的是熱傳導，電離真空計利用的是真空放電。選用真空計時應該注意以下事項：1)在設備要求的壓強范圍內，真空計是否有足夠的測量精度；2)被測氣體是否會對真空計造成損傷；3)真空計是否會對被測真空環境造成影響；4)真空計所測壓強...

電阻真空計也稱皮拉尼(Pirani)真空計，它是憑借熱絲電阻的變化反映壓力的。它主要由規管和測量線路兩部分組成，其測量范圍為104～10-1Pa。電阻式規管的結構如圖4-3所示，在規管殼內封裝一個用電阻溫度系數高的電阻絲繞制的圓柱螺旋形熱絲，熱絲兩端用引線引出規管，接測量線路。規管殼可用金屬或玻璃制成，金屬外殼具有耐用、拆卸熱絲方便等優點，缺點是密封性能較差，價格高；玻璃外殼具有密封性能好、價格低等優點，缺點是易損壞。繞制熱絲的一些電阻絲的電阻溫度系數和電阻率，如表4-1所示...