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對(duì)于Fe、Co、Ni、Fe2O3、坡莫合金等鐵磁性材料，要實(shí)現(xiàn)低溫、高速濺射沉積，采用普通的磁控濺射方式會(huì)受到很大的限制。這是由于采用上述幾種材料制成的靶磁阻很低，大部分磁場(chǎng)如圖1所示的那樣幾乎*從鐵磁性靶材內(nèi)部通過(guò)，使靶材表面上部的剩余磁場(chǎng)過(guò)小，無(wú)法形成有效地電子束縛區(qū)域，不可能形成平行于靶表面的使二次電子作圓擺線運(yùn)動(dòng)的強(qiáng)磁場(chǎng)，使得磁控濺射不能進(jìn)行。此時(shí)，磁控濺射就成為效率很低的二極濺射，使薄膜的沉積速度大大下降，基片急劇升溫。相比普通靶材，除了磁屏蔽效應(yīng)外，在濺射鐵磁性材...

采用對(duì)靶磁控濺射系統(tǒng)，可以獲得高沉積速率的磁性膜，且不必大幅度升高基片溫度。對(duì)靶磁控濺射系統(tǒng)可以用來(lái)制備磁性Fe、Ni及其磁性合金膜。對(duì)靶磁控濺射系統(tǒng)其原理如圖3所示。兩只靶相對(duì)安置，所加磁場(chǎng)和靶表面垂直，且磁場(chǎng)和電場(chǎng)平行。陽(yáng)極放置在與靶面垂直部位，和磁場(chǎng)一起，起到約束等離子體的作用。二次電子飛出靶面后，被垂直靶的陰極位降區(qū)的電場(chǎng)加速。電子在向陽(yáng)極運(yùn)動(dòng)過(guò)程中受磁場(chǎng)作用，作洛侖茲運(yùn)動(dòng)。但是由于兩靶上加有較高的負(fù)偏壓，部分電子幾乎沿直線運(yùn)動(dòng)，到對(duì)面靶的陰極位降區(qū)被減速，然后又被向...

增強(qiáng)濺射陰極磁場(chǎng)的另一種方法是采用高強(qiáng)磁體，通過(guò)強(qiáng)磁場(chǎng)飽和更厚的鐵磁性靶材得到靶材表面需要的濺射磁場(chǎng)強(qiáng)度。但是高強(qiáng)磁鐵的價(jià)格昂貴，同時(shí)采用這種方法增加靶材厚度的效果有限，而且由于強(qiáng)永磁體大小不能改變，這種方法會(huì)引起嚴(yán)重的等離子體磁聚現(xiàn)象。等離子體磁聚現(xiàn)象的產(chǎn)生使濺射區(qū)靶材很快消耗完而不能繼續(xù)濺射，從而造成靶材利用率很低。采用電磁線圈來(lái)產(chǎn)生高強(qiáng)磁場(chǎng)，通過(guò)調(diào)節(jié)電磁線圈的電流控制磁場(chǎng)大小來(lái)抑制等離子體磁聚。但這種方法的磁場(chǎng)裝置復(fù)雜而且成本高，同時(shí)電磁線圈還受到濺射陰極尺寸的限制，從...

在真空系統(tǒng)中，高真空插板閥用來(lái)切斷或接通管路氣流，按其結(jié)構(gòu)原理可分為滾珠脹緊型與平行四邊形運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)撐開(kāi)型。本文的研究對(duì)象ZBS-800高真空插板閥為滾珠脹緊型，滾珠脹緊方式的高真空插板閥主要由閥體(閥殼、閥蓋、密封圈)、閥板組件(脹緊滾珠、密封閥板、承壓閥板、板簧、保持架、導(dǎo)向輪)、驅(qū)動(dòng)部分(曲柄連桿機(jī)構(gòu)、氣缸、機(jī)械到位開(kāi)關(guān))等部件組成，具體結(jié)構(gòu)原理圖如圖1所示。真空插板閥是一種雙向密封閥，在正向或反向抽真空時(shí)，密封閥板兩面形成0至1大氣壓壓差，均能達(dá)到真空密封，壓差作用在密...

根據(jù)ZBS-800型插板閥的組成以及結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，可以采用檢測(cè)真空閥門(mén)閥板位移、閥門(mén)開(kāi)啟以及關(guān)閉過(guò)程的聲音、閥門(mén)開(kāi)啟以及關(guān)閉所需時(shí)間相互結(jié)合的方法對(duì)閥門(mén)的工作狀態(tài)進(jìn)行預(yù)測(cè)。2.1、閥門(mén)密封閥板的位移激光位移傳感器是可以進(jìn)行非接觸位置、位移測(cè)量的精密傳感器，在科學(xué)研究、工業(yè)生產(chǎn)、空間技術(shù)、國(guó)防等領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用，我們選用激光三角測(cè)量法傳感器對(duì)閥門(mén)密封閥板的位移進(jìn)行測(cè)量，激光三角測(cè)量法原理如圖2所示，激光發(fā)射器通過(guò)鏡頭將可見(jiàn)紅色激光射向被測(cè)物體表面，經(jīng)物體反射的激光通過(guò)接收器鏡頭，...

將鐵磁性靶材的厚度減薄是解決磁控濺射鐵磁材料靶材的常見(jiàn)方法。如果鐵磁性靶材足夠薄，則其不能*屏蔽磁場(chǎng)，一部分磁通將靶材飽和，其余的磁通將從靶材表面通過(guò)，達(dá)到磁控濺射的要求。這種方法的大缺點(diǎn)是靶材的使用壽命過(guò)短，同時(shí)靶材的利用率很低。而且薄片靶材的另一個(gè)缺點(diǎn)是濺射工作時(shí)，靶材的熱變形嚴(yán)重，往往造成濺射很不均勻。一種對(duì)鐵磁性靶材進(jìn)行的改進(jìn)設(shè)計(jì)是在靶材表面刻槽，槽的位置在濺射環(huán)兩側(cè)。這種設(shè)計(jì)的靶材適用于具有一般導(dǎo)磁率的鐵磁性靶材，例如鎳。但對(duì)具有高導(dǎo)磁率的靶材料效果較差。雖然靶材的...

真空截止閥的真空部分主要由內(nèi)閥體和外閥體的中間夾層組成，夾層中氣體越多，對(duì)流傳熱就越劇烈，為減少對(duì)流換熱的影響，要對(duì)夾層進(jìn)行抽真空處理，殘余氣體的傳熱屬于氣體的能量遷移，對(duì)于真空夾層的氣體導(dǎo)熱隨著夾層壓強(qiáng)的不同，氣體的導(dǎo)熱機(jī)理不相同。真空夾層的殘余氣體的傳熱分三種情況，分別是：低真空、中真空和高真空，就高真空而言，氣體分子的平均自由程大于容器尺寸，分子間相互碰撞的幾率很低，分子與界面的碰撞比分子間的相互碰撞頻繁得多，氣體中各處溫度相等，氣體分子可以由一個(gè)壁面飛向另一個(gè)壁面，每...

質(zhì)量流量計(jì)它可以測(cè)量流體介質(zhì)的質(zhì)量，也可以測(cè)量流體介質(zhì)的密度。儀表的量程比會(huì)影響它自身測(cè)量精度，但是會(huì)引起壓降的講法還沒(méi)聽(tīng)過(guò)。質(zhì)量流量計(jì)根據(jù)哥里奧利效應(yīng)而制成的質(zhì)量檢測(cè)儀表，因此質(zhì)量流量計(jì)的檢測(cè)不受溫度、壓力、流速、密度、粘度等影響。質(zhì)量流量計(jì)的特點(diǎn)質(zhì)量流量計(jì)它的檢測(cè)精度高、量程范圍寬、可靠性高，而且后期維護(hù)量小。在測(cè)量流體介質(zhì)質(zhì)量流量時(shí)也可以測(cè)量流體介質(zhì)的密度。它的輸出信號(hào)為4-20maDC模擬量信號(hào)，同時(shí)又能輸出頻率信號(hào)，能更好的與計(jì)算機(jī)相兼容，因此能構(gòu)成完善的本質(zhì)安全系...

真空規(guī)管一般是裝在真空鍍膜室的位置，是指電離規(guī)管，玻璃管端部用老虎鉗夾破一點(diǎn)，插進(jìn)真空室密封好，必須大氣狀態(tài)完成。（還有電阻規(guī)它是測(cè)粗真空的，這種沒(méi)有規(guī)管，就一個(gè)傳感器）用來(lái)監(jiān)測(cè)真空度的，，電離規(guī)開(kāi)啟一般是有要求的，當(dāng)壓強(qiáng)到3PA以下才開(kāi)真空，可設(shè)置壓強(qiáng)參數(shù)，到了會(huì)自動(dòng)開(kāi)，過(guò)早開(kāi)會(huì)氧化電離規(guī)，導(dǎo)致燒壞真空規(guī)管就是測(cè)量真空度的傳感器。真空規(guī)管測(cè)量出來(lái)的信號(hào)傳輸?shù)秸婵沼?jì)上經(jīng)過(guò)放大處理就可以顯示出被測(cè)真空環(huán)境的真空度。主要應(yīng)用于真空環(huán)境的真空度測(cè)量領(lǐng)域，如真空鍍膜，太陽(yáng)能集熱管制作...

充氣密封圈是實(shí)現(xiàn)檢漏收集室密封的關(guān)鍵，研究其密封性的設(shè)計(jì)具有重要的工程意義。舊檢漏收集室采用的無(wú)棱充氣密封圈的密封效果不佳，且密封可靠性也較差，因此，針對(duì)某收集室的新建要求，有必要對(duì)充氣密封圈進(jìn)行重新的設(shè)計(jì)，以提高檢漏收集室的密封性及可靠性。本文首先根據(jù)充氣密封圈的密封機(jī)理，設(shè)計(jì)出一種新型截面型式的充氣密封圈;其次，通過(guò)有限元仿真的對(duì)比分析，得到了新舊兩種不同截面型式充氣密封圈密封面上的應(yīng)力分布規(guī)律，并以此為基礎(chǔ)，確定了新型截面型式充氣密封圈的*性；后，通過(guò)對(duì)新建收集室的密封...

液氧，液氫在經(jīng)過(guò)真空管道及真空截止閥后，1-2小時(shí)對(duì)真空閥殘余氣體漏熱與常溫下夾層壓強(qiáng)進(jìn)行了測(cè)試，實(shí)驗(yàn)計(jì)算結(jié)果表明夾層低溫壓強(qiáng)對(duì)應(yīng)的常溫壓強(qiáng)，與夾層中氫含量和吸附劑的吸附能力密切相關(guān)，如果吸附劑的裝填量足夠多，也即吸附劑在低溫下能夠吸附氣體的量大于夾層中可能存在的不凝性氣體的量，對(duì)液氫輸送中，可允許稍低的真空度。常溫夾層壓強(qiáng)在40Pa以上殘余氣體漏熱與壓力成非線性關(guān)系，如圖1所示。同時(shí)在夾層低壓強(qiáng)的狀態(tài)對(duì)殘余氣體的漏熱進(jìn)行了計(jì)算分析如圖2和圖3，實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明低壓狀態(tài)下殘余氣體...

干式螺桿真空泵是主要是利用一對(duì)螺桿，其特點(diǎn)是兩螺桿經(jīng)精細(xì)動(dòng)平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，所以使得干式螺桿真空泵工作時(shí)，相互之間無(wú)磨擦，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無(wú)需潤(rùn)滑油，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場(chǎng)合，極限真空更高。但是在我國(guó)使用的螺桿泵主要依靠進(jìn)口，價(jià)格非常昂貴。干式螺桿真空泵，它利用一對(duì)螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備。它的優(yōu)勢(shì)彌補(bǔ)了油封式真空泵的不足，我們都稱之為油封式真空泵的升級(jí)版...